• 欧亿体育由一支经验丰富的管理团队领导,该团队拥有丰富的管理和行业经验。尤其是,欧亿体育的主席、执行董事、行政总裁兼创始人张汉泉先生在中国营运商城方面拥有逾15年的经验,其本人自二零一三年六月起一直担任CHSA主席,且彼为中国酒店用品行业的开拓者及领导者。欧亿体育管理团队拥有多年的经验,已在业内积累了丰富的经验和知识,并为本集团独特的商业模式作出贡献。

    PECVD设备

    应用于逻辑和存储芯片制造

    盛美上海的等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备可应用于SiO2, SiNx, Carbon,NDC薄膜沉积工艺, 未来可以扩展至单片式PEALD薄膜沉积工艺进行平台化扩展。

  • 欧亿体育由一支经验丰富的管理团队领导,该团队拥有丰富的管理和行业经验。尤其是,欧亿体育的主席、执行董事、行政总裁兼创始人张汉泉先生在中国营运商城方面拥有逾15年的经验,其本人自二零一三年六月起一直担任CHSA主席,且彼为中国酒店用品行业的开拓者及领导者。欧亿体育管理团队拥有多年的经验,已在业内积累了丰富的经验和知识,并为本集团独特的商业模式作出贡献。

    主要优势

    配置了具有自主知识产权的腔体设计和单腔体多加热盘布局

    配置了特殊的气体分配装置和卡盘设计

    针对薄膜叠层的变换可以提供更好的薄膜均匀性,更优的薄膜应力和更少的颗粒特性

    兼顾高产能要求每个腔体都安装有多个加热盘

    灵活配置腔体数量兼顾不同产能要求

    自主开发的控制软件能够灵活配置满足相应需求

    独特设计的真空机械手臂匹配腔体多加热盘晶圆存取规则

    工艺温度兼容200C到650C的各种PECVD沉积薄膜要求


    特性和规格

    可适用于300mm晶圆各种薄膜沉积需求

    该设备采用单腔体模块化设计,有两种配置:
        一种是可配置一至三腔体模块,适用于沉积比较薄的薄膜兼顾产能大小
        一种是可配置四至五腔体模块,适用于沉积比较厚的薄膜兼容长臂真空机械手臂

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