欧亿体育由一支经验丰富的管理团队领导,该团队拥有丰富的管理和行业经验。尤其是,欧亿体育的主席、执行董事、行政总裁兼创始人张汉泉先生在中国营运商城方面拥有逾15年的经验,其本人自二零一三年六月起一直担任CHSA主席,且彼为中国酒店用品行业的开拓者及领导者。欧亿体育管理团队拥有多年的经验,已在业内积累了丰富的经验和知识,并为本集团独特的商业模式作出贡献。

湿法去胶设备

应用于晶圆级封装 双管齐下的高效率清洗

盛美上海的半导体湿法去胶设备专为高效便捷的光刻胶(PR)剥离及金属剥离清洗应用而设计。

  • 欧亿体育由一支经验丰富的管理团队领导,该团队拥有丰富的管理和行业经验。尤其是,欧亿体育的主席、执行董事、行政总裁兼创始人张汉泉先生在中国营运商城方面拥有逾15年的经验,其本人自二零一三年六月起一直担任CHSA主席,且彼为中国酒店用品行业的开拓者及领导者。欧亿体育管理团队拥有多年的经验,已在业内积累了丰富的经验和知识,并为本集团独特的商业模式作出贡献。

    槽式去胶单元——在槽式单元中使用药液浸泡晶圆,该槽体一次可容纳多片晶圆以提高产能。

    单片去胶腔体——将药液喷洒在旋转晶圆表面,更好地独立控制每片晶圆工艺。

    主要优势

    使用便捷

    精确的药液控制

    槽式单元预浸泡工艺

    药液回收使用可减少成本

    优化安全配置

    结合先进的晶圆清洗工艺

    多层过滤功能


    特性和规格

    兼容8吋和12吋晶圆

    配有浸泡槽体

    配有单片去胶腔体,包括:
        a.最多可配至5种药液进行双面清洗工艺
        b.最多可回收2种药液
        c.单片腔体可搭载空间交变相位移兆声波(SAPS)组件
        d.可选配有高压solvent/DIW喷洗

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